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使用一台即可进行反射率、膜厚、物体颜色、透过率、入射角45度反射率的各种分光测定。
测定以物镜聚光的Φ17~70μm的微小点的反射率。
活用反射率数据,测定约50nm~约10μm的单层膜、多层膜的膜厚。
根据反射率数据显示XY色度图、L*a*b*色度图及相关数值。
从受台下部透过?2mm的平行光,测定平面样品的透过率。
从侧面向45度面反射?2mm的平行光,测定其反射率。
使用平面光栅及线传感器进行全波长同时分光测定,从而实现高速测定。
新设计了可以在?17~70μm的测定区域中进行非接触测定的专用物镜。通常的分光光度计不能进行测定的细小电子部件或镜片等的曲面,也可以实现再现性很高的测定。
将专用物镜与环形照明组合,不需要进行被检测物背面的防反射处理,就可测定最薄0.2mm的反射率*。*使用40×物镜时,在本公司的测定条件下进行测定。
根据测定的分光反射率数据进行单层膜或多层膜的膜厚解析。可以根据用途选择最佳的测定方法。
这是一种根据测定的分光反射率值的峰值与低谷的周期性计算出膜厚的方法,对于测定单层膜是有效的。不需要复杂的设置,可以简单地求出。
这是一种根据测定的分光反射率值的周期性计算膜厚的方法,对于单层膜及多层膜的测定有效。难以检测出峰值及低谷等时,可以几乎不受噪音的影响进行解析。
这是一种通过推算测定的分光反射率值与根据某种膜构造计算的反射率的差达到最小的构造计算出膜厚的方法,对于单层膜及多层膜的测定有效。还可以进行不会出现峰值及低谷的薄膜解析。
高速、高精度地应对多样化测定需求。
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